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작성일 : 10-06-13 22:50
[프로젝트] 반도체 설비 진동 모니터링 시스템
 글쓴이 : 사이로직
조회 : 3,819  
(주)사이로직은 PsyPOD(사이포드) 시스템을 이용한 반도체 설비 진동 모니터링 시스템 프로젝트를 완료하였습니다.

고정밀 노광기의 진동을 모니터링 함으로써, 장비 간의 간섭을 체크하고, 불량을 미연에 방지하여 생산성을 높일 수 있도록 하였습니다. 측정된 데이터는 계측기에 자동 저장되고, 설비 제어기에 상태 정보를 제공합니다.

사이포드는 현대자동차의 엔진진동모니터링 시스템에 이어, 반도체 설비의 진동 모니터링 시스템으로도 활용되고 있습니다.



 
   
 


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